Introduction |
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La structure Métal-Semiconducteur
(M-SC) est le dispositif unipolaire le plus simple. Il est à
la base d'un grand nombre de structures plus complexes.
Dispositif unipolaire
: un seul type de porteurs (électrons ou trous) participe de façon
importante à la conduction du courant et détermine les conditions
de fonctionnement du dispositif.
Souvent l'application
d'une tension sur une structure MS produit une caractéristique
I(V) non symétrique, la structure se comporte comme un redresseur : c'est
une diode SCHOTTKY.
Certaines structures M-SC
peuvent présenter des caractéristiques I(V) très symétriques,
ce sont alors des contacts ohmiques. La maîtrise des contacts
ohmiques est capitale pour réaliser les connexions entres les différentes
structures d'un circuit intégré.
Les structures M-SC sont
particulièrement bien adaptées à la technologie silicium.
Elles sont souvent réalisées en ouvrant une fenêtre dans
une couche d'oxyde et en déposant sous vide un film métallique
qui entre en contact intime avec le semiconducteur.
Introduction |
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La structure
Métal-Semiconducteur.
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Dernière mise à jour : le Auteur : Bernard BOITTIAUX